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Saphir EPI polierte Wafer sind ultraflache, Super saubere, stressfrei polierte Substrate. Diese werden mit Präzisions Orientierungen und Offsets angeboten, Wafer-bis Wafer-Uniformität mit mehreren Oberflächen fertig. Diese Wafer sind individuell entwickelt, um die einzigartige Spezifikation und die endgültige Anwendung der Kunden zu optimieren.
Bluebean Optical verfügt über führende Fähigkeiten in der Verarbeitung und Produktion von Saphir Substraten und optischen Fenster Produkten. In unseren hochmodernen Anlagen befinden sich hochvolumige Produktionsanlagen, die auf Kernbohrungen, schneiden, Formen, Schleifen, Läppen, reinigen, Glühen und Messen von Saphir Wafern zugeschnitten sind. Wir schneiden und Schleifen auch Saphir Substrate und Fenster mit hochwertigen Oberflächen und hervorragenden flachheits Spezifikationen von Bow, Warp und TTV.
Sapphire Wafers Specifications:
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Constituent |
Monocrystal Al2O3 with 99.999% purity |
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Crystal quality |
No envelope, bubble, trace, clouds, striaturn, color or scatterer |
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Diameter |
2 Inch |
3 Inch |
4 Inch |
5inch ～ 7inch |
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Thickness |
430±15µm |
550±15µm |
650±20µm |
Specify |
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Orientation |
C- plane (0001) to M-plane (1-100) or A-plane(1 1-2 0) 0.2±0.1° |
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Orientation side length |
16.0±1.0 |
22.0±1.0 |
32.5±1.5 |
Specify |
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Orientation Incline accuracy |
A-plane (1 1-2 0 ) 0° ± 0.3° |
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TTV |
≤10µm |
≤15µm |
≤20µm |
≤30µm |
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BOW |
≤10µm |
≤15µm |
≤20µm |
≤30µm |
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Warp |
≤10µm |
≤15µm |
≤20µm |
≤30µm |
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Front Surface |
Epi-Polished (Ra < 0.2nm) |
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Back Surface |
Fine ground (Ra = 0.5 to 1.2 µm), Epi-Polished (Ra < 0.2nm) |
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Cleaning/packaging |
Class 100 cleanroom cleaning, vacuum packaging removing nitrogen |
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Note |
Custom Specifications are also available per customer's request. |
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